第09版:自主创新年度报告 上一版3  4下一版  
 
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上一版3  4下一版 2014年1月6日 星期 放大 缩小 默认
贺荣明

“光刻机取得的阶段性成果,是我们十年创新发展的结晶。我们将继续结合研发项目开展创新实践,主动实施企业创新能力建设,以奋发有为的精神状态,争科学发展之先。”

上海微电子装备有限公司董事长兼总经理,国家光刻设备工程技术研究中心主任,获得“国家计划执行突出贡献奖”。

2002年至今,贺荣明带领公司团队攻克了多项光刻机核心技术,研制成功了我国首台投影扫描光刻机,获得了近500项授权发明专利,成为世界少数掌握高端光刻机的系统设计与系统集成测试技术的高科技公司。目前,围绕光刻机核心技术,公司相继开发并形成了4大系列光刻机产品,极大地支撑了国内相关泛半导体产业发展对高端装备的需求。

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