VLSI技术研究组合是日本企业在追赶美国计算机巨人IBM公司的过程中产生的。20世纪70年代，传来了IBM将着手开发第四代计算机“未来系统”的消息。据说该型计算机将使用超大规模集成电路VLSI ，而在集成电路技术领域，日本已大幅落后于美国，如果不能在此关键核心技术领域取得突破，日本企业休想赶上IBM。但是VLSI的研发，需要的资金十分庞大，不是个别企业所能承受得起的。当时日本政府希望在半导体领域缩小同美国的技术差距，着力计算机这个幼稚但又至关重要的产业。为此，日本通产省于1975年成立了包含多名产业界和学术界人士在内的“VLSI研究开发政策委员会”。经该委员会酝酿，通产省于1976年成立了由政府和民间企业共同出资的共同研究开发组织———————“VLSI技术研究组合”。

  参加“VLSI技术研究组合”的企业全部由通产省选定。它们是日本电气、东芝、日立、富士通、三菱电机，几乎囊括了日本境内所有的大型半导体生产企业。同时，通产省还决定在研究组合下面设立一个研究基地————共同研究所，由通产省所属的工业技术院电子技术综合研究所和各参加企业负责派遣科研人员组成。这是日本第一次由存在竞争关系的企业各自派遣研究人员组成相对稳定的共同研究所。

  据周程教授介绍，日本早期也有一些自发的研究组合，比如企业以缔结合同的方式明确各自的研究任务、所需承担的研究经费以及研究成果的处理分配方式等，或者组建临时性的松散研究组织。但是这类研究组合不具有独立法人地位，政府不提供税收优惠和资金援助；而且专利法中的职务发明条款很难适用、容易引发知识产权纠纷。为了解决这一问题，1961年，日本政府通过了《工矿业技术研究组合法》。该法规定，只要被认定为“技术研究组合”，就可以被视作非营利性的特殊法人，并享受税制优惠。

  VLSI组合的最高管理机构是理事会，由各大公司的总裁和通产省的代表组成，理事会的主席由理事轮流担任，秘书长由通产省出身的离职官员担任。理事会下设运营企划委员会，其成员由各公司分管半导体工作的副总裁级人物以及通产省管辖的电子技术综合研究所相关负责人组成。他们每月至少碰头一次，就组合中的重大事项进行商议、拍板。为提高议事效率，运营企划委员会设立了两个专门委员会————经营委员会和技术委员会，前者专责行政事务，后者专责技术研发。

  政府主导，怎样才能使互相竞争的企业之间化干戈为玉帛、通力合作呢？马俊如教授向记者介绍了日本政府组织企业联合创新的经验：一是创新管理机制，把技术创新过程分为联合攻关以突破共性技术和有了先进技术后各企业在此基础上独立开发产品两个阶段。技术突破的成果共享，各自用先进技术开发新产品进行市场竞争。这就为竞争者凝聚在一起搞创新找到了利益的共同点，而且企业不会担心自己的特有技术会在共同研发过程中被竞争对手学去。政府只对产前竞争阶段的技术研发予以补助，而且补助额只是少量的，这样的好处是，不至于给国际社会留下日本政府在大规模补贴半导体生产企业的口实。二是以企业为主体进行技术创新，参加攻关的企业必须投入软、硬条件真抓实干。三是联合攻关实体在目标任务完成后就解散。

  就拿超大规模集成电路“VLSI技术研究组合”来说，通产省在课题的选择上，只对共性、基础性的技术研发予以支持，对这种研发的补助控制在总研发费的50％以内，研究组合的专利，参加企业均可无偿使用。核心技术交由共同研究所公关解决，设计技术由各参与企业所属研发机构自行组织攻关。至于工艺处理技术、检测评价技术、装置设计技术等，除其中的一些基础性、共性问题由共同研究所负责外，其他均由各企业自行解决。

  此外，在组织架构上，凡是适于由中立者担任的职务均由通产省出身的人员担任，而且其出身和资历要足以能够赢得各个公司的信任与合作。

  即便如此，官、产、研要协调一致，也不是件容易的事。周程教授向记者讲述了合作过程中的一个小故事————

  共同研究所要求五个参与企业各推荐一名研究室主任级人选，研究室成员则由各研究室主任挑选。但由于参与企业担心自身的技术外流而失去技术优势，所以不愿意将最优秀的技术骨干推荐到共同研究所任职。最后由所长垂井康夫提出初步名单，经通产省相关部门出面协调，才确定室主任级人选。但是，在如何安排五个研究室主任人选时又遇到了麻烦，因为五位室主任候选人为了本单位的利益，都希望要担任高精度加工这个关键核心技术研发部门的主任。最后，VLSI组合决定设置相互独立的三个研究室，由有过半导体精密加工设备研发经验的日立、富士通、东芝三家公司的室主任候选人各负责一个。硅结晶技术属于最为基础的技术，该研究室主任最终决定由电子技术综合研究所的科研人员出任。三菱电机和NEC的室主任候选人则负责剩下的工艺处理技术研究室和检测评价与装置设计技术研究室。三个高精度加工设备研究室的成员，主要从室主任所在的企业中抽调，其余的两家企业则分别加入其中。由于余下的两家企业在高精度加工领域起步晚，不构成威胁，所以三家先行企业都没有表示排斥。至于另外三个研究室的成员，则打破企业界限，尽量从五家参与企业中等额抽调。

  为促进研究交流，通产省出身的官员和电子技术综合研究所的科研人员每隔一到两周，便将各研究室科研人员组织到一起，汇报交流各自地研究进展。三个高精度加工技术研究室虽被相互隔开，但是用作隔离的只是一些书架之类东西，没有装门，故研究人员都可以自由地进入其他研究室进行参观、交流。而且无尘室也是共用的，也成了一个重要的交流场所。此外，通产省出身的官员和电子技术综合研究所的科研人员还经常发起户外旅行、节假日聚会等联谊活动，以缩小来自于各个企业的科研人员之间的心理距离。经过精心策划，共同研究所逐渐变成了一个“组织”，并在迎接共同的对手————IBM的挑战过程中最终走到了一起。三个研究室围绕着同一个目标从不同角度发起冲锋，反而取得了很多意想不到的收获。

  其实，共同研究所虽然直接参加的只有五家企业，但很多上游企业都不同程度地被动员起来了。共同研究所将不少研究项目交给了集成电路生产的上游企业，例如理光、佳能等，据统计，四年里与VLSI组合挂钩，参与研发的上游企业数多达50余家。

  VLSI组合的最大功绩是成功地开发出了半导体加工过程中的关键设备————缩小投影型光刻装置（Stepper）。三支团队研发半导体加工装置的技术路线虽然不尽相同，但都取得了重大突破。这些技术突破为日本后来在整个半导体生产设备领域确立优势地位奠定了基础。VLSI组合启动以前，日本半导体生产设备的80％左右依赖从美国进口，但到了上世纪80年代中期，全部半导体生产设备都实现了国产化，至80年代末，日本的半导体生产设备的世界市场占有率超过了50％。