在故事里,魔法师手中的水晶球有预测未来的神密力量,而在现实中,晶莹剔透的8英寸硅单晶圆棒却是颗不折不扣的“试金石”。前不久,在位于山东德州经济技术开发区的新厂区里,山东有研半导体材料有限公司使用新设备生产的半导体级8英寸直拉硅单晶,历时70多个小时一次性拉制成功,标志着公司8英寸硅抛光片在德州量产迈出了关键一步。今年克服疫情影响,试生产阶段比原计划提前了半年,让山东有研半导体材料有限公司总工程师肖清华喜出望外、直抒胸臆:“到德州经济技术开发区来发展,我们来对了!”
作为央企有研科技集团有限公司(原北京有色金属研究总院)旗下的核心企业,有研半导体材料有限公司(以下简称有研半导体)是有研半导体集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目的建设者。2018年年初,其位于北京的生产基地将要向外搬迁的消息传出后,众多城市纷纷抛来橄榄枝。经过对10余个城市的考察,有研半导体最后初步确定在3个城市中选址。利用五一假期,有研半导体的10多个管理人员到这3个地方去考察,假期结束后,他们每个人亮出自己的选项,结果竟然高度一致,那就是去德州经济技术开发区。2018年7月26日,有研半导体签订投资合作协议,正式落户德州经济技术开发区。此项目总投资80亿元,已入选山东省新旧动能转换重大项目库。
当初,为让有研半导体项目尽快落地生根,德州经济技术开发区各级工作人员以“钉钉子”的劲头抓落实,以“拔钉子”的气魄解难题。他们实施流程再造,创立“双线并行+预审承诺性”审批模式,实行建设项目土地征收供应手续和项目规划、施工手续同步办理,有效节约建设项目落地时限4至6个月,实现“拿地即开工”。他们通过“三减一提”(减材料、减环节、减时间、提效率),将原来的8项必要材料,优化为承诺事项2项、必要材料2项。有研项目在这套审批机制的推进下,进一步实施桩基施工和主体施工分开审批方式,有效提高了项目建设速度,2019年3月实现了“拿地即开工”的高效结果。他们还为有研项目提供全流程、保姆式服务,采用现场走访推进机制和建设项目周报双结合的方式,及时发现、了解、解决项目落地建设过程中的问题,提高审批服务效率,推进项目落地速度。
硅单晶的拉制是一个非常复杂的过程,除了工艺技术要求成熟外,生产过程的控制更是要求精确,水、电、气等动力条件供应的稳定性要求也非常苛刻,外部电网频闪就容易造成单晶拉制失败。为此,当地专门为企业建设了35千伏专用变电站,实行双回路供电。
2020年6月,有研半导体集成电路用大尺寸硅材料规模化项目建设进入攻坚期,为确保项目生产线7月上旬具备工艺设备搬入条件,德州经济技术开发区创新推出了“早餐例会”新机制。
每天早晨7:30,利用早餐时间,德州经济技术开发区人员召集有研半导体、施工各单位和监理公司等相关人员一起开会,通报前一天工程建设进度,分析存在的问题及原因,统筹研究解决问题的办法。在早餐例会上,有关单位负责人主要汇报前一天项目建设进度、存在问题,提出下一步工作思路;凡例会研究确定的事项,均应按分工抓紧办理,有研半导体工作专班负责统筹督办。此举大大提高了有研半导体项目建设效率,实现了部门、企业、施工单位配合联动,开创了问题早发现、早沟通、早会商、早解决的工作新局面。
疫情防控期间,为确保有研半导体项目正常进行,德州经济技术开发区千方百计协调混凝土供应,实施点对点接回外地技术人员和工人,确保项目建设进度;同时,成立有研半导体项目基金,省市区三级引导基金出资8亿元,引导社会资本出资12亿元。德州市政府还专门出台《关于加快集成电路产业发展的实施意见》,对投资大的集成电路项目给予补贴。
另外,为保证项目的用工需求,德州职业技术学院等紧密对接项目需求,开设晶体生长、硅材料加工、半导体材料检测等课程,每年可为企业输送专业技术工人200余人。
特别值得关注的是,有研半导体项目落地后,有研集团多个产业项目陆续落户德州。2019年集团旗下上市公司有研新材在调研多地后,确定将有研新材创新及成果转化基地落地德州乐陵,2020年4月27日,项目在乐陵市循环经济示范园奠基。
一叶知秋。有研半导体项目如同一面镜子,折射出德州经济技术开发区长期坚持政府创造环境、企业创造财富的理念,是他们优化营商环境的努力成果,也是他们持续打造完善承接平台、加快产业集群发展硬实力的必然结果。
鸿鹄高飞,一举千里。如今,德州经济技术开发区正致力于树立优化营商环境、建立亲清政商关系的鲜明旗帜,擦亮“法治、诚信、高效、包容”的营商环境品牌,着力打造智造德州、高质量发展的高地,创新驱动、充满潜力的高地,改革开放、充满活力的高地“三大高地”。人们有理由相信,德州经济技术开发区的明天会更美好!
(数据来源:德州经济技术开发区经济发展部)