走进中船重工718所派瑞特种气体有限公司位于河北邯郸肥乡区的新材料产业园，高大宽敞的厂房车间内一尘不染，由四通八达管道连接起来的生产设备正在生产三氟化氮、六氟化钨等电子特种气体。公司副董事长李绍波告诉记者：“得益于新材料产业园投产，今年上半年公司销售收入同比增长25%。”

电子特种气体是大规模集成电路、液晶面板行业生产所需关键原材料，被业界形象地喻为半导体工业的“血液”及“粮食”。2009年以来，中船重工718所特气公司研制出高纯度三氟化氮、六氟化钨等系列特种气体产品，打破了国外垄断，使电子特种气体市场价格大幅下降。此后，718所又先后立项开展了20多种高纯特种气体研发，并成功开发出高纯氘气、三氟甲磺酸、六氟乙烷等新产品，涉及核心关键技术40余项，其中多项技术填补了国内空白。目前，公司三氟化氮、六氟化钨两种气体产能在世界领先，三氟化氮国内市场占有率超过50%，六氟化钨超过60%。今年一季度，两种气体产销量分别同比增长30％和70％以上。

在河钢邯钢气体厂稀有气体作业区氪氙精制生产线中央控制室，记者看到多名技术人员正在电脑前紧盯氙气生产过程中的各项实时数据。该厂三级技术专家李军告诉记者：“氙气是航天领域不可替代的重要气体，在空气中的含量约为百万分之零点零八七。以前的生产技术及产品销售一直被国外企业垄断。直到2013年，河钢邯钢气体厂取得了突破性进展，这一困境才被打破。2017年，我们厂生产的氙气产品成功应用于实践十三号卫星，一举打破了我国航天领域高纯稀有气体需求困境，并推动该气体的国际市场价格由12万元/立方米下降到6万元/立方米。目前，该产品已经被中国航天集团成功应用于卫星推进系统。”

“我们的目标是按照国际一流标准建设特种气体生产基地，大力开发标准气、激光气、航天气及相关同位素等产品，力争在‘十三五’末使特种气体品种超过100种。”河钢邯钢气体厂厂长李耀表示。