在“十五”863重大专项和相关计划的支持下，上海微电子装备有限公司自主设计、制造和集成的国内首台光刻机样机研制任务已经完成并通过工艺测试，即将进入上海集成电路研发中心上线运行，使国内光刻机水平实现了几代技术跨越，取得重大突破，目前，公司对未来发展进行了规划布局，将逐步完成5大系列13个产品的开发。