本报上海1月8日电 记者吴凯报道：中国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备（PECVD）今天在上海成功下线，被视为中国在新能源高端装备领域取得的重大突破。“中国造”的PECVD性能领先于国外同类产品，价格大幅低于后者，国内薄膜太阳能电池产业化进程有望提速。

据介绍，由上海理想能源设备公司研制并首次下线的等离子体增强型化学气相沉积设备，是制造非晶微晶叠层薄膜电池最关键的设备。采用非晶微晶叠层硅薄膜太阳能电池结构不仅提高转换效率，而且克服只有非晶硅薄膜的低转换效率和较严重的光致衰减效应。理想能源的PECVD采用了创新的超高频射频技术、精密的真空和温度控制技术，快速的自动传输技术，和多腔多片的反应腔系统，大大提高了产能，其产品性能优越，而售价远低于同等的进口设备。

在太阳能光伏产业链上，关键设备的制造处于最高端，是有效降低成本,立足于国际太阳能光伏市场，实现太阳能发电大面积推广的关键所在。上海通过积极推进高新技术产业化，大力扶持光伏设备国产化，并将之作为该市经济结构调整和产业转型升级的重要举措。由资深留美博士钱学煜等领衔，聚集20多名曾服务于国际一流企业、具有丰富经验的设备、工艺和管理专家，于2009年8月成立理想能源设备制造有限公司，成为光伏设备国产化的“先行者”。

据上海市经济信息化委有关负责同志介绍，2010年上海太阳能光伏产业呈现快速发展，将达到130亿元产业规模，比去年增长62.5%。尚德“冥王星”、晶澳“赛秀”等一批高效太阳能电池产业化项目在沪实施扩产计划。全市已形成太阳能电池或组件产能超过1.7GW，比2009年增长150%。尚德“冥王星”高效太阳能晶硅电池、晶澳、中电扩产高效太阳能电池组件等一批项目加快建成；产业能级不断提升，太阳能薄膜核心设备技术实现首台业绩等一批重大技术形成突破。产业基地建设和招商引资成果显著，浦东、闵行、奉贤、松江等区进一步加大了新能源产业基地建设力度，引进了一批新能源高新技术产业化项目，总投资超过100亿元。